16.
[15分] 高度测量传感器（Level Sensor）基本原理：
测量晶圆表面的高度演示：
由于光路物理限制，高度测量传感器在晶圆上投射的9个光点并非完美地位于一条直线上，如图所示。这意味着不同的晶圆位置/高度/倾斜度会导致不同的高度测量值。因此，当晶圆放置在 (0, 0, 0, 0, 0, 0) 时，必须知道准确的实际光点位置与理想情况间的误差，以此保证测量精度。
理想情况:
实际情况:
问题：你能设计一种方法来测量/计算相对于理想点位置的实际情况偏移量吗？
提示：水平传感器只能测量Z高度，而晶圆可以放置在不同的位置（x，y，z，Rx，Ry，Rz）
